對(duì)于薄膜厚度的測量，通常需要借助儀器來實(shí)現(xiàn)。根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，薄膜厚度檢測需要專業(yè)的薄膜厚度測量儀，行業(yè)中規(guī)薄膜材料的厚度測量分為機(jī)械接觸時(shí)測量和非接觸式測量兩種方式。在這里我們以機(jī)械接觸式薄膜測厚儀CHY-U為例，來介紹下薄膜厚度的測量。

　　薄膜測厚儀檢測方法介紹

　　1、將兩個(gè)激光傳感器分裝在薄膜試樣的上下方，把傳感器固定在支架上。

　　2、打開儀器，設(shè)置參數(shù)，放置對(duì)比量塊，點(diǎn)擊“確認(rèn)”。

　　3、取走滑塊，重新設(shè)置與步驟（2）相同的參數(shù)，放入薄膜試樣。

　　4、分別取10個(gè)不同的點(diǎn)，位置盡量錯(cuò)開，避免因距離太近影響數(shù)據(jù)。

　　5、測量值通過串口傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，再通過在計(jì)算機(jī)上的測厚軟件進(jìn)行處理，得到目標(biāo)的厚度值。

　　需要注意的是，在對(duì)薄膜進(jìn)行測試之前首先需要準(zhǔn)備好試樣，而對(duì)于不同尺寸的試樣來說，所需進(jìn)行測試點(diǎn)的數(shù)量也是不一樣的：試樣長度≤300mm,測10點(diǎn)；試樣長度在300mm到1500mm之間，測20點(diǎn)；試樣長度≥1500點(diǎn)的，至少測30點(diǎn);對(duì)于未裁邊的樣品，應(yīng)在距邊50mm開始測量。

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